微電子行業(yè)潔凈空調(diào)系統(tǒng)的空氣過濾器（HEPA/ULPA）安裝密封與維護(hù)

在微電子行業(yè)中，潔凈空調(diào)系統(tǒng)的HEPA過濾器（HEPA/ULPA）安裝與密封是確保生產(chǎn)環(huán)境潔凈度的關(guān)鍵步驟。以下是詳細(xì)的流程與注意事項(xiàng)：

安裝前準(zhǔn)備材料與設(shè)備檢查：
確認(rèn)HEPA過濾器型號、規(guī)格符合設(shè)計(jì)要求（如過濾效率、尺寸、框架材質(zhì)等）。檢查密封材料（如硅膠墊片、液槽密封膠）的兼容性與有效期，避免化學(xué)污染。在潔凈室中操作，確保安裝區(qū)域達(dá)到所需潔凈等級（如ISO Class 5或更高）。提前清潔安裝框架及周圍區(qū)域，使用無塵布和酒精去除灰塵、油污。操作人員穿戴防靜電服、手套、口罩，避免人體污染或靜電損壞過濾器。

安裝步驟
用無塵布蘸取異丙醇或酒精擦拭安裝框架，確保無顆粒殘留。確認(rèn)過濾器氣流方向箭頭與系統(tǒng)設(shè)計(jì)一致，避免反向安裝導(dǎo)致效率下降或破損。避免碰撞濾紙，搬運(yùn)時(shí)使用專用工具或雙手托住邊框。將過濾器平穩(wěn)放入安裝框，使用螺栓或壓條均勻緊固，力度適中以防變形。
密封方式選擇

機(jī)械壓緊密封：使用彈性墊片填充縫隙，通過壓緊裝置施加均勻壓力。適用于FFU或小型過濾器，需定期檢查墊片老化情況。

液槽密封：在安裝框密封槽內(nèi)注入惰性密封膠，嵌入過濾器邊框，固化后形成無縫隙密封。需控制膠水用量，避免溢出污染濾材，固化時(shí)間依環(huán)境溫濕度調(diào)整。

負(fù)壓密封：通過系統(tǒng)負(fù)壓使過濾器緊貼安裝面，需確?？蚣芷秸雀?。

泄漏監(jiān)測與驗(yàn)證 PAO/DOP檢漏測試：在上游釋放PAO氣溶膠，下游用光度計(jì)掃描邊框及濾紙，泄漏率需≤0.01%（ULPA）或≤0.03%（HEPA）。若發(fā)現(xiàn)泄漏，重新調(diào)整壓緊力度或補(bǔ)充密封膠。確認(rèn)過濾器面風(fēng)速均勻（通常0.45±0.1 m/s），壓差在正常范圍內(nèi)（初始壓差≤200Pa）。

維護(hù)與更換定期檢查：每月檢查密封材料狀態(tài)，更換老化墊片或補(bǔ)膠。當(dāng)達(dá)到初始壓差2倍時(shí)需更換過濾器。記錄安裝日期、檢漏數(shù)據(jù)、壓差變化及維護(hù)操作，確?？勺匪菪?。在干燥環(huán)境中操作時(shí)，使用防靜電工具防止靜電放電損傷濾材,通過嚴(yán)格遵循上述流程，可確保HEPA過濾器的安裝與密封質(zhì)量，保障微電子生產(chǎn)環(huán)境的穩(wěn)定性和產(chǎn)品良率。

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